南开大学化学学院互联原子层沉积系统采购项目

A02062099其他电气机械设备

采购1台互联原子层沉积系统，需要满足以下具体指标： 原子层沉积系统： 1)反应腔：样品最大8英寸，内外双区域加热，最高温度350 ℃； 2)均匀性： < 1% (Al2O3)； 3)前驱通道6路，包含1路水，5路固液气源，5路均带加热包系统； 4)Swagelok ALD快速响应阀门； 5)1路载气N2或Ar，量程0-200 sccm可调； 6)尾气处理：具有尾气处理热蒸发阱，加热温度不低于150 ℃； 7)臭氧发生器：最大臭氧输出浓度为120 mg L-1 @500 sccm pure O3 flow； 8)曝光工艺模式：满足深沟槽、微结构陈列等深孔、通孔等镀膜； 9)曝光工艺的深宽比：2000：1； 10)配备定制手套箱：环境内惰性气体经循环风机和净化器密闭循环，可持续性除水除氧；水氧指标：小于1 ppm；泄漏率：小于0.001 vol% h-1； 11)系统带客户要求的完整制程工艺包； 12)可扩展Particle沉积反应腔，用于粉末表面包覆材料； 13)可扩展Domelid组件，用于Batch多片工艺沉积； 14)可扩展SAMs组件，用于沉积单分子自组装薄膜（有机高分子材料）； 15)可扩展LVPD低蒸汽压传送系统； 热蒸发、磁控溅射沉积互联模块 1)蒸发源：水冷铜电极2组，3英寸普磁靶1套； 2)电源系统：1.5 KW直流电源1台；500 W射频溅射电源1台； 3)膜厚监测：SQC310两通道石英晶振膜厚监控仪1套，MCVAC水冷膜厚探头2套； 4)独立气动挡板及电动升降台； 5)真空泵机组：JTFB-1200风冷复合分子泵1台；ISP-500C涡旋干泵1台；KF40泵阀连接软管1套；ZDF-5227数显真空计1台； 6)样品台系统：转速5-20 转/分旋转台1个；400-500 mm电动基片升降台1个；130×130 mm基片托架1个；在线掩膜更换设备1套； 配备定制手套箱：环境内惰性气体经循环风机和净化器密闭循环，可持续性除水除氧；水氧指标：小于1 ppm；泄漏率：小于0.001 vol% h-1。