反应磁控溅射镀膜设备采购结果公告
业主单位：见正文
类型：中标公告地区：广东 · 深圳
发布：2025-12-14 10:28:01截止：2025-12-24
产品/服务：见正文
全链路投标指引协助，定制信息、下一步操作指引、自动撰写标书、标书评分、合同起草签署等
| 申购单主题： | 反应磁控溅射镀膜设备（二次竞价） | 申购单位： | 物资招标采购中心 | ||||
| 申购备注： | 1、投标供应商资格要求： 投标供应商符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2、投标供应商除满足上述要求外，还必须符合法律、行政法规规定与本项目相关的其他资格条件，由投标供应商出具满足资格响应的相关承诺函。3、投标供应商的报价响应除满足项目需求表列出的需求之外，同时响应满足国家法律法规规定的与本项目相关的强制要求。 | ||||||
| 设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | |||
| 反应磁控溅射镀膜设备 | 不指定品牌 | 不指定型号 | 1 | 国内含税价/人民币 | |||
| 售后服务 | 详见《项目需求表》 | ||||||
| 规格 | 1、真空系统：系统的极限压强≤5x10-4 Pa，真空抽速（洁净腔体），从大气抽到5*10-3 Pa的时间≤20分钟。 2、靶枪模块：靶枪模块至少含3只溅射阴极，同时带自动挡板设置，根据工艺需求独立控制开启，靶枪采用水冷，磁路模块需要可更换。 3、气体控制：至少支持2路工作气体，气体质量流量计控制精度应优于±1%。 | ||||||
| 中标供应商 | 单价 | 初选理由 | |||||
| 深圳市速普仪器有限公司 | 179500 | 最低价原则 | |||||