面向智能传感器的MEMS异质异构集成共性工艺平台项目物理气相沉积设备和化学气相沉积设备采购项目重新招标澄清或变更公告(1)
业主单位：上海新微技术研发中心有限公司
类型：招标采购地区：上海 · 上海
发布：2026-05-10 07:36:58截止：2026-05-20
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面向智能传感器的MEMS异质异构集成共性工艺平台项目物理气相沉积设备和化学气相沉积设备采购项目重新招标澄清或变更公告(1)
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结果
- 项目编号： 0705-264506024005
- 公告类型： 招标变更
- 截止时间：
- 招标机构： 上海国际招标有限公司
- 招标地区： 上海市
招标项目编号：0705-264506024005
项目名称：面向智能传感器的MEMS异质异构集成共性工艺平台项目物理气相沉积设备和化学气相沉积设备采购项目
项目名称(英文)：ICB for Physical vapor deposition equipment and chemical vapor deposition equipment for MEMS Heterogeneous Integration Common Process Platform for Intelligent Sensors
招标人：上海新微技术研发中心有限公司
招标机构：上海国际招标有限公司
招标机构代码：0705
招标方式：公开招标
投标报价方式：线下投标
招标结果：重新招标